Planglas
Zur Prüfung geringer Ebenheitsabweichungen benutzt man ein Planglas, auch Plan-Probeglas oder planparalleles Prüfglas genannt.
Dies ist ein manuelles Prüfmittel mit geläppten oder polierten Flächen.
Die Prüfmethode basiert auf der Interferenz von Licht beruht.
Ein Planglas ist ein rundes, hochgenau geschliffenes Glas, das mit einem Rahmen aus Kunststoff oder Metall
eingefasst ist, um es vor Fingerabdrücken zu schützen.
Bei der Prüfung wird das Glas einseitig leicht auf den Prüfkörper gedrückt,
wodurch ein keilförmiger Spalt gebildet wird, in dem das Licht durch seine Reflexion Interferenzen bildet.
Auf ebenen Flächen erscheinen sichtbare gerade Streifen, während konkave und konvexe Abweichungen ringförmige Streifen bilden,
die jedoch gegensätzlich zueinander stehen. Zwischen den Interferenzstreifen entfernt sich die Messfläche zur Glasscheibe um etwa 0,27 µm bei weißem Licht.
Am besten geeignet ist die Nutzung des Planglases unter Verwendung von monochromatischem Licht.
Voraussetzung für den Einsatz eines Planglases ist, dass die zu messende Oberfläche ausreichend Licht reflektiert.
Es gibt plane und sphärisch gekrümmte Probegläser, welche in DIN 58161 Teil 1 bzw. Teil 2 spezifiziert sind.
Beispielsweise können die Messflächen von Messschrauben mit Plangläsern auf Ebenheit und Parallelität geprüft werden.