平板玻璃(Flat Glass)
平板玻璃,也称为 平面 测试玻璃或平面平行测试玻璃,用于测试小的平面度偏差。
它是一种带有研磨或抛光表面的手动测试装置和一种基于光干涉的测试方法。平板玻璃是一种圆形的高精度圆形玻璃,装有塑料或金属制成的框架。这样做是为了保护玻璃免受指纹影响。
在测试过程中,将玻璃轻轻压在一侧的试样上,从而形成一个楔形狭缝,光线在其中通过 反射 形成干涉。平面上出现可见的直线条纹,而凹凸偏差形成环形条纹,但它们彼此相对。
在干涉条纹之间,测量表面到玻璃板在白光下的距离约为 0.27 µm。
建议使用单色光以获得更好的效果。使用平板玻璃的先决条件是被测表面反射足够的光线。
DIN 58161 第 1 部分和第 2 部分分别规定了扁平和球形弯曲试管。例如,可以用 平面 玻璃检查千分尺测量面的 平面度 和 平行度 。